产品特性:镀膜 | 新旧程度:9成新 | 型号:OTFC-1300DBI |
设备所在地:东莞 | 设备生产产地:日本 | 产品数量:3 |
离子源:750W的RF | 真空室:1300 | 电压:200V |
一,用途
日本光驰OTFC-1300镀膜机:主要用于量产高精度的带通滤光片产品,包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片,可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障,满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。
OTFC-1300镀膜机的基本配置是:搭载了10KV双电子枪,750W的RF射频离子源,光学膜厚监控装置(Optorun 制,HOM2-R-VIS350A),低温冷凝器(Polycold),油旋转机械泵 (Edwards E2M275)罗茨机械泵(Edwards EH1200);多点和环型坩埚可镀200层以上,膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上,不用再为了达到高OD值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。
二,下面介绍其中两个特点:
1. 光学膜厚测量控制:
OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,这就使生产效率得以***提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量,并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准,公差更小,可以做到±0.1nm。
2. RF射频离子源:
(1)加工精度高,便于***控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描,可以***控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1150mm以上。
(2)同使用灯丝型的离子源比较,它的寿命长,污染少。
(3)加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工,作为一种微观作用,其宏观压力很小,适合于各种材料和低刚度工件的加工,而且加工表面质量高。
(4) 动作安定性高,能长时间运转。
3.镀膜机明细参数:
真空室SUS304,Ф1300mm×1500mm(H)基板架4片式工作架(或Ф1200 mm)基板架转速30rpm(可调)晶振式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器蒸发源电子枪1台性能极限真空7.0×10-5Pa以下抽气速度10分(大气压~3.0×10-3Pa)基板加热温度350℃安装要求安装空间约4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)电力3相,200V,50/60Hz,约80KVA水流量100升/分以上压缩空气压力0.5-0.7MPa重量约5000kg
三,销售清单
销售设备清单 | ||||
序号 | 设备名称 | 规格型号 | 品牌 | |
1 | 双面抛光机 | 6B/9B/9.6B/13B/15B/16B/18B/20B/21B/28B/30B/40B | 日本滨井/创技/瑞德/宇环/宇晶/劳尔品牌 | |
2 | 真空蒸发镀膜机 | LP1650/1800/2350/1104 | 光弛/龙翩/新科隆/莱宝/联合 | |
3 | 自动移载机 | PH802 | ||
4 | 自动移载机 | PH802 | ||
5 | 8寸贴膜机 | UTAS208A | ||
6 | 下摆机 | 光进/时代 | ||
7 | 推拉机 | 永田 | ||
8 | 铣磨机 | 勇益 | ||
9 | 仿形机 | 120/150/170/200/250 | 中航 | |
10 | 异形开料机 | 1240 | 精一 | |
11 | 金相显微镜 | XJX-6 | 奥林巴斯 | |
12 | 金相显微镜 | MA-2002 | 奥林巴斯 | |
13 | 干涉仪 | 100 | ZYGO | |
14 | 奥林巴斯体视显微镜 | SZ51 | ||
15 | 紫外分光光度计 | 1700/1750/1800/2401/2450/2550 | 日本岛津 | |
16 | 光谱仪 | 4100 | 日本日立 | |
17 | 红外光度计 | 21 | 傅利叶 | |
18 | 超声波洗净机 | 科伟达/三和 | ||
19 | 二次元影像测量仪 | 2010/3020/4030 | ||
20 | 全自动脱泡机 | 1200/1350/1550 | 鑫力/诺峰/深科达 |
订购说明
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