| 新旧程度：8成新 | 型号：1100 | 设备所在地：东莞茶山 |
| 设备生产产地：日本 | 产品数量：1 | 直径：1100 |
| 离子源：16 | 电压：220 |
工厂低价转让 1台 ***日本新科隆精密镀膜机 1100MM，配双枪光控，低温泵，连续镀，离子源
系统构成
基板取付 | 旋转式立式伞架 |
光学式膜厚计 | 选购件 |
水晶式膜厚计 | 无 |
电脑系统 | SSC-1 |
RAS机构 | 溅射源＋氧化反应源 |
旋转负极 | 选购件 |
追加目标 | 选购件（真空室１专用、仅1枚） |
高真空排气系统 | 选购件（仅真空室1） |
设备性能
排气时间(成膜室) | 达到1×10-3Pa不超过30分钟(测量条件按本公司标准) |
排气时间(前室) | 从大气压到7Pa不超过7分钟(测量条件按本公司标准) |
极限真空压 | 不超过1×10-4Pa |
基片加热温度 | 不加热 |
膜厚分布 | CV(变动系数)＝不超过0.5%(按本公司标准发货基准) |
安装条件
所需电力 | 三相 200V±10％ 约68kW(电力) |
所需冷却水 | 约140L/min、18?24℃(标准20℃) |
所需压缩空气 | 不低于0.5MPa(0.7MPa) |
安装面积 | W4300mm×D6300mm×H2700mm，顶棚高度不低于3000mm |
总重量 | 约9000kg |
